Virtual Metrology Agent
실시간 연결됨
현재 배치 LOT 계측값 예측 결과 알려줘.
불량 위험 있는 거 있어?
LOT 계측값 예측을 계산할게요.
센서
#파라미터
MES
#공정이력
QMS
#계측값
현재 배치
LOT
의 계측값을 예측해봤어요.
불량 위험이 있는
LOT는 2개
입니다.
LOT
허용 범위 비교
예측 계측값
판정
LOT-2241
20
25
30
24.3
μm
정상
LOT-2242
20
25
30
24.1
μm
정상
LOT-2243
20
25
30
27.8
μm
주의
LOT-2244
20
25
30
23.9
μm
정상
LOT-2245
20
25
30
31.2
μm
불량 위험
불량 위험 LOT: LOT-2243, LOT-2245
예측 계측값이 기준 범위를 벗어나 출하 전 확인이 필요합니다.