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CVD 설비 3B 노즐 압력 이상 알람 발생함.
점검·조치 절차 안내해줘.
관련 문서를 검색하고 점검·조치 절차를 정리했어요.
CVD #3B노즐 알람코드 #P-302 점검절차 조치가이드 운전매뉴얼

검색 결과 요약

신뢰도 95%

CVD 3B 노즐 압력 이상 알람(P-302) 관련 문서 3건을 찾았어요.

문서 제목 문서 유형 버전 관련도
PDF
CVD 설비 운전 매뉴얼3B 노즐 압력 이상 알람 (P-302)
운전 매뉴얼 v2.3 95%
HWP
CVD 설비 이상 알람 대응 가이드P-302 압력 점검 및 조치 절차
가이드 v1.5 92%
XLS
CVD 알람 코드 목록P-300대 압력 관련 알람 코드
참고 자료 v1.2 88%

점검 · 조치 절차

1 알람 상태 확인
  • HMI 알람 코드(P-302) 확인
  • 발생 시간 및 빈도 확인
2 압력 값 확인
  • 3B 노즐 압력 값 확인
  • 설정값 대비 편차 확인
3 필터/배관 점검
  • 노즐 라인 필터 막힘 여부
  • 배관 누설, 밸브 상태 점검
4 조치 실행
  • 필터 청소/교체
  • 배관 조임 또는 재기동
5 재확인 및 기록
  • 압력 정상 복귀 확인
  • 결과 기록 및 보고

주의 사항

  • 조치 전 반드시 설비를 안전 정지하고 LOTO를 수행하세요.
  • 조치 후에도 알람이 지속되면 즉시 유지보수팀에 연락하세요.
노즐 배관 점검 위치 참고
점검 위치 참고 3B 노즐 배관 연결부의 누설·체결 상태를 우선 확인하세요.